دستگاه لایه نشانی اسپاترینگ سه کاتده مدل DST3، اسپاترینگ سه کاتده

دستگاه لایه نشانی اسپاترینگ سه کاتده مدل DST3، اسپاترینگ سه کاتده

شرکـت پوشــش های نانو ساختـار با بیـش از 20 سال تجـربه در زمـینه طـراحــی و سـاخت انــواع سیستم های لایه نشانی در خلأ، سیستم اسپاترینگ تک کاتده,دستگاه پوشش دهی کربنی,اسپاترینگ ,لایه نشانی,میکرو آنالیز,تبخیر حرارتی,لایه نشانی با لیزر پالسی، لایه نشانی به روش pvd، لایه نشانی به روش کند و پاش، لایه نشانی به روش اسپری، لایه نشانی pld، لایه نشانی تبخیر حرارتی، لایه نشانی به روش اسپاترینگ، لایه نشان کربن تحت خلاء و سیستم لایه نشانی رومیزی تحت خلاء از پیشگامان این حوزه در ایران به شمار می رود.


دستگاه اسپاترینگ DST3, یک سیستم لایه نشانی در خلاء به روش اسپاترینگ (کند و پاش) با محفظه شیشه ای و پمپ توربومولکولار می باشد. این دستگاه مجهز به سه کاتد مگنترون آبگرد دو اینچی بوده و با دارا بودن منابع تغذیه RF,DC قادر به لایه نشانی گروه وسیعی از مواد شامل فلزات (اکسیدی و غیر اکسیدی)، نیمه هادی و سرامیک ها می باشد.


DST3 با توجه به حالت قرار گرفتن کاتدهای آن دارای دو مدل می باشد:

1- DST3-A کاتدهاي با زاويه
مدل DST3-A با بکارگيري سه کاتد زاویه دار با نقطه کانوني مشترک، قادر به انجام لايه نشاني متمرکز و همزمان دو يا سه کاتد است و علاوه بر ساخت چند لايه اي ها امکان آلياژ سازي را نیز فراهم می کند. قابليت چرخش زير لايه این سیستم باعث يکنواختي بسيار خوب لايه رشد داده شده مي شود. همچنين بدليل امکان زاويه دادن به زير لايه نسبت به کاتدها مي توان انواع لايه ها را به صورت ستوني رشد داد (Glad Sputtering).

2- DST3-S کاتدهاي خطي (يا مستقيم)
مدل DST3-S با دارا بودن سه کاتد با قطر دو اینچ که بدون زاویه کنار یکدیگر قرار گرفته اند، براي لايه نشاني بر روي تک نمونه هاي بزرگ با قطري حدود 20 سانتي متر و يا چندين قطعه با ابعاد کوچکتر در اين محدوده مناسب مي باشد. اين دستگاه براي اطمينان از يکنواختي لايه در تمام سطح نمونه هاي بزرگ، مجهز به سه کاتد مگنترون گرديده است.


از جمله ویژگی های دستگاه لایه نشانی DST3 به موارد زیر میتوان اشاره کرد:

• منبع تغذيه با جريان 0 تا 1000 ميلي آمپر
• منبع تغذیه RF با توان 300 وات به همراه مچینگ باکس
• تنظيم زمان و يا ضخامت فرايند لايه نشاني به صورت دستي و خودکار
• مجهز به نگهدارنده نمونه قابل چرخش که توانايي کج شدن در جهت کاتد ها را دارد
• دو عدد MFC براي کنترل فشار محفظه خلاء
• کنترل خودکار توان لايه نشاني به صورت مستقل از فشار
• کنترل خودکار دماي کاتدها در جهت بالا بردن طول عمر مگنت ها
• قابليت ورود سريع داده ها با استفاده از کنترل لمسي و تمام خودکار
• رسم منحني هاي فشار و ضخامت
• انتقال منحني ها و داده هاي فرآيند لايه نشاني بوسيله ي USB به کامپيوتر
• گاز نيتروژن براي انجام عمليات vent
• برق ورودي: 220V- 50HZ- 16A
• وزن همراه با راک حدود Kg 90
• ابعاد: قطر 50سانتي متر × عرض 65 سانتي متر × ارتفاع 60 سانتي متر